Công nghệ lưỡi dao / Hướng dẫn ứng dụng / Lắp ráp và đóng gói bán dẫn tiên tiến
Dao xẻ màng gắn chip bán dẫn
Dao xẻ màng gắn chip bán dẫn chia màng ghép keo thành các khổ cho lắp ráp và đóng gói tiên tiến. Vật liệu có thể gồm lớp lót nhả, màng đỡ hoặc băng quy trình khác; vì vậy phải xác định trạng thái sau cắt theo từng lớp và đánh giá bằng mẫu đã điều hòa, đường dải máy, tiêu chí sạch, sơ đồ khổ, mép và phương pháp chuyển giao.
Các công đoạn sử dụng phương pháp cắt này
Chia khổ màng gắn chip
Xẻ cuộn mẹ thành khổ kiểm soát cho lắp ráp bán dẫn.
Xén mép có lớp lót
Loại mép ngoài trong khi giữ đúng lớp keo và lớp lót.
Chuẩn bị cuộn quy trình
Cuộn lại đúng hướng mặt keo để lưu trữ hoặc cán sau.
Cách thường dùng để mô tả vấn đề cắt này
- dao xẻ màng gắn chip bán dẫn
- dao cắt cuộn keo DAF
- dao xén màng liên kết chip
- dao xẻ màng ghép gắn chip
- dao chia khổ màng keo bán dẫn
- dao xẻ DAF có lớp lót
- dao cắt màng liên kết đóng gói tiên tiến
- dao xẻ mép sạch màng gắn chip
Xác định kết quả cắt cần đạt
- Mép keo liên tục, không kéo sợi hoặc miết nhòe.
- Kết quả cắt và giữ lớp keo, lót, đỡ đúng yêu cầu.
- Kiểm soát hạt và tiếp xúc bề mặt.
- Cuộn ổn định, không bong mép, dính chặn hoặc nhăn.
Các vấn đề cần chẩn đoán trước khi thay dao
Keo kéo sợi hoặc tích tụ ở mép xẻ
- Xác nhận màng ghép và trạng thái điều hòa.
- Đánh dấu băng và phía bắt đầu lỗi.
- So sánh trình tự vệ sinh.
Lớp lót hỏng hoặc tách ngoài ý muốn
- Xác định trạng thái sau cắt từng lớp.
- Kiểm tra dấu, vết cắt và bong lớp lót.
- Xem xét đường uốn và tách khi cuộn.
Có hạt hoặc dấu tiếp xúc trên vật liệu
- Lập sơ đồ con lăn và mặt đỡ.
- Xác định nguồn mảnh vụn.
- Dùng cùng phương pháp kiểm tra sạch.
Băng thành phẩm bong, nhăn hoặc dính cuộn
- Xác nhận hướng mặt keo.
- So sánh qua tách, cuộn và thời gian lưu.
- Kiểm tra mặt cuộn và đoạn tháo chọn lọc.
Các dạng dao có thể xem xét
| Dạng dao có thể phù hợp | Khi nào có thể xem xét | Nội dung phải xác nhận |
|---|---|---|
| Bố trí xẻ xoay theo máy | Khi chia khổ liên tục màng DAF có lớp lót. | Chồng lớp, giá dao, đỡ dải, khổ băng, cuộn lại và mép đạt. |
| Bố trí xẻ màng keo có đỡ | Khi cần hạn chế bong mép và truyền keo. | Trạng thái điều hòa, vị trí đỡ, giới hạn tiếp xúc và vệ sinh. |
| Bố trí bế bán đứt biên dạng trên lớp lót | Khi cần giữ biên dạng keo trên lớp lót chỉ định. | Bản vẽ, thứ tự lớp, độ xuyên, định vị, loại phế và chuyển giao. |
Thông tin cần gửi để đánh giá kỹ thuật
Bạn không cần biết chính xác tên lưỡi dao. Hãy gửi thông tin hiện có về vật liệu cắt, máy, dao đang dùng và kết quả cắt cần đạt để ứng dụng được đánh giá theo bản vẽ hoặc mẫu.
- Mã sản phẩm DAF và mẫu sản xuất.
- Toàn bộ chồng lớp keo, lót và đỡ.
- Khổ cuộn mẹ và sơ đồ băng.
- Hướng mặt keo và điều kiện điều hòa.
- Trạm máy, giá dao và đường cuộn.
- Mẫu lỗi kéo sợi, bong, hỏng lót hoặc hạt.
- Yêu cầu sạch, lưu trữ và chuyển giao.
- Số lượng thử và dụng cụ hiện tại.
Câu hỏi về ứng dụng cắt này
Có thể chọn dao chỉ theo độ dày màng keo không?
Không; cần toàn bộ màng ghép, trạng thái điều hòa, lớp lót, giao diện máy và mép đạt.
Vì sao phải nhận diện mọi lớp lót và đỡ?
Các lớp có thể cần kết quả cắt khác nhau và phải giữ đúng thứ tự để chuyển giao.
Cần kiểm tra gì sau cuộn lại?
Kiểm tra mặt cuộn và đoạn tháo đối với kéo sợi, bong lớp lót, dính, nhăn và hạt.
Màng gắn chip khác băng bảo vệ wafer thế nào?
Màng gắn chip ở lại trong cụm như vật liệu liên kết; băng bảo vệ chỉ dùng tạm thời.
Có nên ước đoán tính chất keo từ ngoại quan không?
Không; giữ trạng thái chưa xác nhận và dùng tài liệu cùng mẫu thực tế.
Yêu cầu đánh giá dao cắt theo đặt hàng
Hãy gửi chi tiết vật liệu cắt, thông tin về máy hoặc gá dao, hình ảnh hay mẫu dao đang dùng, số lượng cần thiết và ví dụ về lỗi cắt hiện tại. Kích thước cuối cùng, vật liệu, hình học lưỡi cắt và dung sai sẽ được xác nhận theo các yêu cầu đã phê duyệt.