Industriële mestechnologie / Toepassingsgids / Verdunnen en backgrinden van halfgeleiderwafers
Snijmessen voor wafer-backgrindingtape
Snijmessen voor wafer-backgrindingtape trimmen tijdelijke beschermingstape rond de wafercontour na beheerst lamineren of maken vergelijkbare voorgesneden profielen voor het proces van de klant. De beoordeling moet de werkelijke tapeconstructie, lijmzijde, wafer- of surrogaatreferentie, snijtraject, toestand van de release-liner, verwijdering van de afvalring en het geaccepteerde randresultaat vastleggen. Waferafmetingen, tapechemie of machine-instellingen mogen niet uit de toepassingsnaam worden afgeleid.
Waar deze snijtoepassing voorkomt
Wafercontour na lamineren trimmen
Overtollige beschermingstape wordt langs de beheerste waferreferentie gescheiden nadat de tape is aangebracht.
Voorgesneden beschermingstape voorbereiden
Tapeprofielen met linerondersteuning worden voorbereid voor een proces dat een vooraf vastgelegde beschermvorm aanbrengt.
Afvalringen scheiden
Het omliggende afval van zelfklevende tape wordt losgemaakt en verwijderd zonder het behouden beschermgebied mee te trekken.
Gebruikelijke omschrijvingen van dit snijprobleem
- snijmessen voor wafer-backgrindingtape
- snijmes voor beschermingstape bij wafer backgrinden
- trimmes voor ronde wafertape
- contoursnijmes voor halfgeleider-BG-tape
- profielsnijmes voor waferbeschermingstape
- kanttrimmes voor zelfklevende backgrindingfolie
- tapesnijmes voor waferlaminatoren
- snijmes voor afvalringen van halfgeleiderwafertape
Leg het vereiste snijresultaat vast
- Doorlopende ronde of beheerste profielscheiding zonder aangehechte foliedraden.
- Stabiele randpositie ten opzichte van het procesdatum of het goedgekeurde surrogaatmonster.
- Beschermingstape die vlak en gehecht blijft in het vereiste behouden gebied.
- Schone afvalverwijdering zonder vermijdbaar contact, deeltjes of lijmoverdracht.
Problemen die vóór een meswissel moeten worden onderzocht
Tape komt los of rimpelt naast het snijtraject
- Bevestig de werkelijke tape, lamineervolgorde en conditie op het moment van snijden.
- Breng in kaart waar het loskomen begint ten opzichte van de aanvoerrichting en ronde gereedschapsbeweging.
- Beoordeel plaatselijke ondersteuning en contact zonder onbevestigde lijmeigenschappen toe te kennen.
Lijmdraden blijven tussen tape en afval achter
- Inspecteer de behouden rand en afvalring volgens de normale methode van de klant.
- Observeer of draadvorming tijdens het snijden of tijdens afvalverwijdering begint.
- Vergelijk verblijftijd van het materiaal en behandelingsvolgorde voor geaccepteerde en afgekeurde monsters.
Snijtraject verschuift ten opzichte van de waferreferentie
- Bevestig het centreerdatum, de visuele referentie of mechanische positioneringsmethode.
- Leg vast of de positiefout gericht, onderbroken of progressief is.
- Vergelijk het snijtraject en de referentie op hetzelfde voltooide monster.
Afvalring komt niet schoon los
- Identificeer verbonden punten en de richting waarin het omliggende afval wordt verwijderd.
- Beoordeel begin-, eind- en profielovergangen rond de volledige omtrek.
- Bevestig of afvalverwijdering de behouden tape verstoort of deeltjes toevoegt.
Mogelijke mesvormen
| Mogelijke mesvorm | Wanneer deze kan worden overwogen | Wat moet worden bevestigd |
|---|---|---|
| In de machine geïntegreerde opstelling voor rond trimmen | Voor het snijden van aangebrachte beschermingstape rond een wafer of goedgekeurd processurrogaat. | Tapeconstructie, contourreferentie, machine-interface, ondersteuning, snijtraject en geaccepteerde behouden rand. |
| Geregistreerde vlakke profielsnijopstelling | Voor het voorbereiden van beschermingstapeprofielen met linerondersteuning vóór het aanbrengen. | Profieltekening, lineropstelling, registratiemethode, snijresultaat per laag en afvalverwijdering. |
| Geïndexeerde kiss-cutopstelling | Wanneer geselecteerde tapelagen moeten worden geprofileerd terwijl een aangewezen release-liner bruikbaar blijft. | Volledige laagopbouw, beoogde penetratie, herhalingsindeling, linerintegriteit en overdrachtsmethode. |
Informatie voor technische beoordeling
U hoeft de exacte benaming van het mes niet te kennen. Stuur de beschikbare gegevens over het werkstuk, de machine, het huidige mes en het snijresultaat, zodat de toepassing aan de hand van een tekening of monster kan worden beoordeeld.
- Productidentificatie van backgrindingtape en representatieve aangeleverde monsters.
- Volledige constructie van tape, lijm, ruglaag en release-liner, indien beschikbaar.
- Beheerste contourtekening of duidelijk geïdentificeerd goedgekeurd procesmonster.
- Aanbrengtoestand tijdens het snijden, materiaaloriëntatie en procesdatum.
- Machinestation, ondersteuning, beweging en beschikbare informatie over de gereedschapsinterface.
- Geaccepteerde en afgekeurde randen met loskomen, draden, rimpels en verbonden afval.
- Eisen van de klant voor reinheid, contact, inspectie en afvoer.
- Proefhoeveelheid, bedrijfsvolgorde en, indien beschikbaar, huidige snijgegevens.
Vragen over deze snijtoepassing
Kan een snijmes voor backgrindingtape alleen op basis van de wafermaat worden gekozen?
Nee. De werkelijke tapeconstructie, aanbrengtoestand, snijreferentie, machine-interface en het geaccepteerde resultaat zijn vereist.
Kan voor een eerste proef een surrogaat in plaats van een productiewafer worden gebruikt?
Alleen wanneer de klant het surrogaat goedkeurt en vastlegt welke ondersteunings-, hechtings- en contourcondities het vertegenwoordigt.
Waarom moet het verwijderen van de afvalring worden geobserveerd?
Afvalverwijdering kan de behouden tape lostrekken, lijmdraden vormen of deeltjes overdragen na een verder volledige snede.
Welke lagen moet een kiss-cutproef behouden?
De klant moet voor elke laag het vereiste resultaat vastleggen; onbekende penetratie-eisen mogen niet worden aangenomen.
Welke foto's zijn nuttig voor de beoordeling?
Toon de volledige contour en detailbeelden van loskomen, draden, rimpels, verbonden punten en de behouden rand.
Vraag een beoordeling van een maatwerk snijmes aan
Stuur de werkstukgegevens, informatie over de machine of meshouder, foto's of een monster van het huidige mes, het gewenste aantal en voorbeelden van het huidige snijprobleem. Definitieve afmetingen, materiaal, snijkantgeometrie en toleranties worden bevestigd aan de hand van de goedgekeurde eisen.